Описание и технические характеристики
Вакуумная установка для магнетронного, лазерного и др. напыления тонких плёнок.
Вакуумная камера
• размер ф50х60 см
• Цилиндрическая форма
• крышка верхняя
• вакуумные окна ф50 мм
• нержавеющая сталь, электрополировка внутренних поверхностей камеры
• съёмные экраны из нержавеющей стали внутри камеры
• установлена на раме из нержавеющей стали с талью для подъёма крышки
• водоохлаждаемая камера
• набор внутрикамерных устройств (токовводы, устройства позиционирования и т.п.).
• Магнетрон круглый с мишенью ф50 мм – 1 шт
• косвенное охлаждение мишени
• сбалансированная магнитная система
• Магнетрон эллиптический с мишенью 50*450 мм – 1 шт
• косвенное охлаждение мишени
• сбалансированная магнитная система
• Блок питания магнетрона
1 шт - Блок питания постоянного тока 0,4 кВт.
• Откачная система
Турбомолекулярный насос
• Форвакуумный насос
• Дополнительное оборудование
• Вращаемый столик диаметром 15 см, 20 об/мин
подача потенциала смещения на подложкодержатель
планетарный механизм на 3 планеты по 5 см
• Широкодиапазонный вакуумметр, 1 атм - 1х10-9 торр
• Регулятор расхода газа, 100 ст.куб.см/мин,
3 регулятора расхода газа
• Измерение толщины напыляемого слоя с помощью кварцевого датчика (кварцевые микровесы)
•Система управления
• полуавтоматическое управление (автоматическая откачка, ручное напыление)
ООО "Русский сверхпроводник"
похожие товары из категории Беспроводные технологии
Беспроводной дистанционный выключатель приборов
Прибор мониторинга напряжения для сетей постоянного тока ПМКС-01
Бесконтактная зарядка Powell для мобильных устройств
